制造芯片的關鍵材料,超過87%的全球市場,被6傢日美公司壟斷

光刻膠是半導體制造中,最關鍵的耗材,是擋在國產芯片面前的一塊巨石。

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光刻膠境況

光刻膠是一種高精尖材料,主要用作微小圖形的加工,位於電子材料的制高點。光刻膠可分為PCB光刻膠、LCD光刻膠、半導體光刻膠三大類。

其中,半導體光刻膠處於最高端,是光刻工藝中必不可少的材料,也是三者中我國受壟斷最為嚴峻的材料。

隨著光刻工藝演進,半導體光刻膠又可分為g線光刻膠、i線光刻膠、KrF光刻膠、ArF光刻膠與EUV光刻膠。光刻膠分辨率依次提升,制備難度也越來越高。越是高端的光刻膠,我國遭受壟斷的情況越高。

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中外光刻膠行業境況

數據顯示,全球超87%的光刻膠市場,被日本JSRTOK、住友化學、信越化學、美國羅門哈斯、富士電子材料這6傢日美企業所壟斷。

據前瞻產業鏈一份數據先顯示,在KrF光刻膠、ArF光刻膠這兩種高端光刻膠上,我國的國產化率隻有1%

我國高端光刻膠,完全被日美企業掌控在手中。這一境況令人憂慮。

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2019年日韓貿易摩擦時,日本通過限制對韓出口光刻膠的手段,給韓國半導體迎頭一擊。

有韓國的前車之鑒,為實現國產芯片自主可控,我國光刻膠不能就這樣受制於人。

光刻膠難點

但是,想要實現光刻膠並不容易,其有以下幾大難點。

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首先,技術壁壘高。

光刻膠在精細化工領域,是技術壁壘最高的材料。光刻膠生產工藝本就十分復雜,需要大量的資金支持,而且還品種繁多,用量較少。這進一步加大瞭光刻膠研發難度。

其次,客戶壁壘高。

光刻膠廠商往往會同上遊原料供應商聯手合作,共同推進光刻膠技術研發,以應對光刻膠更新換代較快的情況,並實現對技術的保密。

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面對廠商有供應商之間的緊密聯系,其他客戶想要打入十分艱難。

最後,壟斷程度高。

目前,光刻膠領域已經呈現出高度壟斷的現狀,留給中國企業的市場寥寥無幾,許多企業隻能在低端領域求生。

國產光刻膠突圍

盡管突圍難度頗高,但不少中國廠商依然選擇前行。在國傢政策的扶持下,中國湧現出南大光電、上海新陽、晶瑞股份等中國光刻膠龍頭企業。

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上海新陽再迎光刻機

其中,上海新陽已經啟動集成電路制造用高端光刻膠研發與產業化項目。

202012月,上海新陽采購的三臺二手ASML-1400光刻機已經陸續到位,這些光刻機將用於ArF193nm)幹法光刻膠研發、驗證。

日前,上海新陽再次傳來好消息。

2021311日,上海新陽發佈公告稱,公司成功中標,購得一臺ASML XT 1900 Gi型二手光刻機。

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該光刻機價格用作28nm高端光刻膠的研發,是對上海新陽ArF濕法光刻膠技術先進性的設備保障。

南大光電碩果累累

2020年,南大光電研發的ArF光刻膠通過客戶使用認證,成功填補瞭我國高端光刻膠的空白。這也是我國首支通過產品驗證的國產ArF光刻膠。

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接下來,南大光電將在3年裡建成193nm光刻膠生產線,並實現25噸的年產能。

北京科華光刻膠項目通過驗收

而在最頂尖的EUV光刻膠領域,北京科華參與的國傢重大專項EUV光刻膠項目已經通過驗收。

寫在最後

可以看出,中國光刻膠企業正著力打破海外壟斷,快速補足我國這一短板。

隨著中國半導體產業的快速發展,光刻膠需求量也將有效提升。同時,疊加國產替代的浪潮,這給中國光刻膠帶來瞭新的發展機遇。

文/BU 審核/子揚 校正/知秋

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