打破“0”紀錄！國產ArF光刻膠簽下首個訂單，終結日美40年壟斷
文/BU 審核/子揚 校正/知秋
在被日美企業壟斷將近40年後，我國在光刻膠領域終於實現瞭從“0”到“1”的突破。
2020年末，中國首個通過產品驗證的國產ArF光刻膠在中國光刻膠領頭企業——南大光電手中誕生，自研的ArF光刻膠通過下遊客戶驗證。
而在日前，南大光電又有好消息傳來。9月10日，南大光電在互動平臺上稱，公司ArF光刻膠已經簽訂小批量訂單。這是國產高端ArF光刻膠簽下的首個銷量訂單，於我國有著十分關鍵的意義。
這表示，我國終於將美日企業的壟斷撕開瞭一道口子。這一點十分關鍵，但也十分不易。
在芯片制造領域，光刻膠是最核心的耗材，其精密程度甚至與芯片的制程息息相關，可見其重要性。
但是，光刻膠卻成為卡住中國芯片制造的關鍵一環。在光刻膠領域，我國的對外依存度達90%之高，實力遠不及日本企業。
日本JSR、東京應化、日本信越與富士電子材料對全球光刻膠市場的占有率達72%，在ArF、KrF高端光刻膠上壟斷程度還要更高。
而國產光刻膠想要突圍，則十分困難，需要邁過原材料壁壘、配方壁壘、設備壁壘、認證壁壘等等，需要投入大量的研發資金、人才、時間等，才能有突破的希望。
因此，南大光電能有如今的成績已是十分不易。目前，南大光電年產能25噸的ArF光刻膠產線已經建成，正在積極推動量產之中。同時，南大光電ArF光刻膠已經獲某存儲芯片制造企業、某邏輯芯片制造企業的客戶認證，已經邁出瞭不小的一步，未來表現令人期待。
除瞭南大光電，我國還有上海新陽、北京科華、江蘇漢拓、福建泓光半導體等企業，實現瞭在國產光刻膠領域的突破，同樣值得關註。
上海新陽自研的KrF厚膜膠（分辨率≥0.15μm，膜厚0.3-15μm）已通過下遊客戶驗證，在今年有望實現批量供應出貨；而在ArF光刻膠上，也進入瞭客戶認證階段。
晶瑞股份分辨率在0.15-0.25μm得KrF光刻膠樣品，進入瞭下遊客戶驗證階段；同時，公司也在開發ArF幹式光刻膠。
北京科華在KrF光刻膠領域有出眾表現，其產品已經打入中芯國際、長江存儲、華虹半導體等中國芯片制造巨頭的生產線，為我國在這一領域實現國產替代作出瞭重要貢獻。
在這些企業的共同努力之下，我國在高端光刻膠領域受制於人的境況將得到緩解，中國不必擔心有朝一日會被日本斷供。這將保障我國芯片產業鏈安全，推動產業鏈國產化程度的提升。
從目前來看，在全球芯片短缺的背景下，晶圓廠紛紛拓產，使得光刻膠需求爆發，出現供不應求的境況；同時，日本企業還對一些中國中小晶圓廠斷供。這給國產光刻膠替代帶來瞭一個難得的機遇。
而從長遠來看，我國半導體光刻膠市場規模正在穩步擴張之中，有著不錯的發展前景，給中國企業提供瞭足夠的發展天地。
在中國企業的實力不斷提升，加之機遇的共同推動下，國產光刻膠有望更快崛起。
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