制造芯片的關鍵設備，重要性堪比光刻機，2傢中企打破海外壟斷
因為眾所周知的原因，越來越多的普通消費者瞭解到瞭光刻機對於芯片制造業的重要性。
在半導體晶圓制造設備中，光刻機是研發難度和單價最高的關鍵設備，卻並非唯一的核心裝備。
四大核心裝備之一
在光刻機之後，離子註入機的研發難度和單價排行第二，與光刻機、刻蝕機和鍍膜機並稱為制造芯片的四大核心裝備，由此可見，離子註入機的重要性堪比光刻機。
公開資料顯示，離子註入機屬於集成電路產業的上遊，主要被應用於半導體材料、大規模集成電路和器件的離子註入，能夠將要摻雜的離子以離子束的形式入射到材料中，從而改變材料表面性能。
受多方因素的影響，目前全球離子註入機行業呈現寡頭壟斷的局面，大部分市場被AMAT、Axcelis以及AIBT三大海外巨頭掌控。
我國在離子註入機領域長期被海外壟斷及封鎖，國產化率幾乎為零。
不過，全球半導體市場規模不斷壯大，受益於下遊需求的增長，離子註入機市場也將持續上漲。
數據顯示，在2019年離子註入機的市場規模約為18億美元。隨著市場規模的不斷擴張，我國急需沖破海外封鎖，掌握住這項核心裝備行業的主動權。
令人欣慰的是，目前已經有兩傢中國企業，在離子註入機國產替代的道路上取得瞭階段性成績。
2傢中企打破海外壟斷
這兩傢企業分別是萬業企業以及中國電子科技集團，其中，前者已經實現瞭離子註入機的量產，躋身全球前八。
萬業企業
筆者瞭解到，如今全球市場中能夠實現離子註入機量產的隻有八傢企業，除瞭前文筆者提及的三大國際巨頭之外，還有一傢中國企業凱世通。
而凱世通正是萬業企業的控股子公司。公開資料表明，凱世通成立於2009年，至今為止不過發展11年時間。
但公司的光伏離子註入機出貨量已經處於世界領先地位，且集成電路離子註入機超越7nm工藝，是國內唯一全領域離子註入機公司。
凱世通之所以能夠在較短時間內取得如此出眾的成績，筆者認為與公司的創始團隊息息相關。
據悉，公司創始人陳炯博士，曾是全球離子註入機巨頭AIBT的聯合創始人，擁有足夠的知識儲備和豐富的經驗。除瞭陳炯之外，其餘四位創始人也是國際知名離子註入設備的專傢。
得益於強大的創始團隊，凱世通生來就擁有更強的研發和創新能力，能夠成為行業龍頭理所當然。
中國電子科技集團
至於中國電子科技集團，則在2021年的3月份宣佈，其下屬裝備子集團實現瞭離子註入機全譜系產品的國產化，並掌握瞭離子註入一站式解決方案。
不同於凱世通，中國電科是國有大型企業集團，擁有龐大的專業人才團隊。在人才方面具有更大優勢的中國電科，其實還是國傢政策以及資金扶持的代表。
2008年以來，政府先後出臺瞭多項政策，從各個維度為國內的半導體產業給予扶持，在很大程度上推動瞭中國集成電路領域的進階。
當環境利好、下遊市場需求穩健增長的情況下，國內集成電路領域的配套產業也在不斷完善。包括萬業企業在內的中國公司，也就擁有瞭更廣闊的發展空間。
太陽能光伏行業、AMOLED領域正在持續成長，離子註入機這類芯片制造環節的核心裝備的國產化替代正在加速。
筆者相信，在國內各方的共同努力下，中國半導體產業有望完全實現自給自足。
文/諦林 審核/子揚 校正/知秋
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